电子束光刻机的事一出来,我就知道,出口管制完蛋了! 不是因为0.6nm精度,而是它瞄准了芯片研发最痛的初试环节。传统光刻调试需重制百万美元的掩膜版,而"羲之"可像编辑文档般修改电路。华为海思等企业迅速接洽印证了需求。当中国用国产设备降低研发成本,封锁便失去支点。 国产“羲之”电子束光刻机的消息在中国半导体圈传开。中国科学院微电子研究所向外界正式介绍了这台设备,并公布了关键数据。 根据新华社和央视新闻等主流媒体的第一手报道,这台国产设备能实现0.6纳米级别的线宽分辨率。 看似是技术参数的进步,但其实真正让中国芯片圈兴奋的,是它把芯片研发环节里最大的一道“坎”给迈过去了。 过去,芯片试做必须依赖海外提供的掩膜版,每次设计调整都得重新买,花钱多、等得久,非常让人头疼。 如今,有了“羲之”电子束直写光刻机,相当于把设计和打样过程变得像写文档一样灵活,芯片研发就顺畅多了。 其实,掩膜版一直是中国芯片行业“卡脖子”的地方。自2019年起,美国等西方国家不断升级对中国半导体的出口管制,最直接的就是高端光刻机和配套消耗品都被限制。 2023年10月,荷兰ASML公司就公开宣布,按照荷兰政府要求,对中国出口最先进的极紫外光刻机(EUV)和部分深紫外光刻机(DUV)要严格控制。 更关键的是,掩膜版的生产也高度依赖国外厂商。一个芯片项目,研发初期有无数次电路改动,每次都要重做掩膜版,等一次就要几周甚至几个月,而且一个掩膜版动辄上百万美元。 这样一来,芯片设计公司不光成本高,创新周期也被严重拖慢。小企业根本玩不起,大企业也叫苦不迭。 中科院微电子研究所其实早在2020年就意识到这个问题,立项攻关电子束直写光刻机,目标就是让中国芯片设计师彻底摆脱对进口掩膜版的依赖。 根据央视新闻和工信部的公开报道,这套设备的最大亮点就是“哪里想改哪里”,只要在电脑上改好电路图,设备就能直接“写”到硅片上,不用等掩膜版。 2022年中科院团队攻克了核心技术难题,到2024年初样机完成并进入调试阶段。 “羲之”这个名字也有说法,是借用中国古代书法家的名号,寓意写芯片像写字一样自如。实际操作上,电子束光刻机是靠高能电子束直接在光刻胶上画出电路,不再“照搬”掩膜版的图案。 这种方式,修改起来特别快,失败几次也没关系,不会造成天价损失。中国科学院方面在新闻发布会上就说得很清楚,有了这台设备,芯片设计企业可以大胆创新,不用总是担心试错成本太高。 2024年6月,华为海思、中芯国际等头部企业就和中科院签了合作协议,准备把这台设备用在新项目的研发打样上。 行业里普遍看法很一致,电子束光刻机不会一上来就取代所有传统光刻机,但在芯片的研发、试产和小批量生产阶段,能极大提高效率,给企业更多试错和创新的机会。 对比国外受限的光刻机和掩膜版,这台国产设备相当于帮中国芯片行业打开了一扇新的大门。
“卖国求荣”的算力买办!前脚国家网信办刚就H20芯片后门问题约谈英伟达,后
【250评论】【65点赞】
海贼王
加油中国
用户13xxx38
天才的构思,完全突破传统,必须点赞。
思尘 回复 08-17 11:13
电子束光刻机国外都有,我们并不是超越了他们,而是突破了封锁,自己也掌握了这项技能,所以还需再接再厉争取把极紫外线光刻机也搞出来就牛逼了,相当于一个国家打世界发达国家联军这是在科技层面的胜利。
兔子 回复 08-17 16:36
又一只老鼠
KU2003
可以大大加快研发进度,而且节省成本。[玫瑰]
绿水青山 回复 08-16 13:43
国家科技进步特等奖!
陈醉
好的开始,是成功的一半。
用户47xxx31
这个早就有了,甚至比光刻机更早,缺点很明显,效率低、容错率低、成本高等等,就是缺点太多,才有光刻机的取代。而且这个技术日本和俄罗斯,乃至美国都有。
南淅香 回复 08-17 17:34
敢问阁下家里几台特斯拉?就性价比来讲,特斯拉搁还真没啥优势。那请问性价比算不算突破呢?如果阁下屋里有钱,特斯拉随便造的,那当我没讲。
没时间玩也不敢玩 回复 08-17 11:21
风筝早有了,但飞机才近百年才有,总不会说发明飞机的照搬风筝设计不稀奇吧
花雨满天
写得好!就这还有好多评论说迷糊话。之前研发要用掩膜板,很贵很慢。是因为和生产是一样的(当然是一样的,不然怎么生产?!)。现在直接另开一条战线,等验证完了,再做掩膜板生产。要知道,研发的时间和成本都会影响产品成本的。
用户12xxx79 回复 08-17 13:59
不懂,我只知道:中国如果造不岀来的东西,外国就会卖天价
提莫队长在拉屎 回复 08-17 09:29
顺便骗骗补贴
米兰卡卡
好样的,中国[点赞]
雨过天晴
这个好,就好像带擦写的黑板,怎么画写都行。
老高
[赞][赞][赞]
苏米 回复 08-16 04:15
看我前面回复。
回望人间
高兴[点赞]国产加油!
123数数
还没完全成功就得瑟,咋这样没定力啊!
2025年的瑞蛇 回复 余大嘴 08-19 08:41
这你自己说的哦[笑着哭]
余大嘴 回复 08-19 07:05
哦哦哦,,美国人是不是已经被疫情灭国了[静静吃瓜]
苏米
小编[点赞][点赞][点赞]①电子束光刻机适合实验室打样:1326束电子1小时只能刻1片晶元。 ②EUV与DUV光刻机适合量产。(每天每台3000片12寸硅晶元,相当于100万片5060ti显示芯片)
绿水青山 回复 08-16 13:41
我们最大的优势是“不惜一切代价”!我们可以用几百万台同时搞!
A-A_TAO 回复 08-16 13:27
不是打败不打败,有时候也是无奈之举,如果有一天人家真的全面限制,连芯片都不卖给你,你怎么办?谁不知道这样成本高又没效率,但我们有得选吗?euv光刻机并不是说研发就就研发出来的
我是冰
现在这种设备是第一代,如果接着研发第二代、第三代呢?细品吧。
想家人
一步一步来,马上走出来了,黎明即将到来
长平 遗魂
并且带负电,不怕烧了?
绿水青山 回复 08-16 13:34
我们研发的只有正能量。
永远是多远 回复 08-16 10:17
什么叫负电?电压只是相对的
用户10xxx87
是真的还是故事啊?
路人甲路过 回复 08-17 08:57
做为湖南人自信点
祈祷 回复 08-18 14:11
口嗨下差不多就得了,亩产万斤,还真信[捂脸哭]
烟火
科技有突破当然值得高兴,就怕是自我吹牛逼,在关键零部件还是要用外国产的那样还是被人控制拿捏。
默。
这个是真的实用,掩膜版的研发费用占比太高了
磊子
相当于锻造和激光成型,一个批量有优势,一个适合定制
天堂的鱼
从复写纸印刷到复印机印刷,打破垄断,就像胶片照片到数码照片,淘汰都成白菜价
A匆匆#严健 回复 08-17 13:09
_
珠乡俗人
又是一篇意淫文章!
地火水风
这样弄慢是慢了点,但省了不少开发的钱。
水东流 回复 08-16 12:50
是研发快,成本低。唉,啥脑子都有。
洪峰 回复 08-17 22:18
电子束刻画是很早的技术了,这个用于验证还是很不错的,慢就慢点,研发成本会降非常多。传统的先进制程掩膜版成本直接贵上天
花开花落
希望是真的,但又怕是为了博眼球编的故事,UC上现在AI文泛滥。
春困秋乏夏打盹 回复 08-16 14:33
不懂,但从九几年水变油,龙芯开始,这类突破太多,最后都是骗局收场,懒得瞎激动了,先观望几年。
老默
我们的思路其实很简单:既然不让我们坐上桌,那我们只能掀了桌。
云侠
要于研发阶段可以,批量生产速度差一点。
回流
中国科技牛逼!希望取代更多的外国技术!更先进,更稳定,更便利,更优惠!
月之暗影
那赶快宣布禁止进口芯片吧
提莫队长在拉屎 回复 08-17 09:34
吹牛逼的你还当真了?他们敢吗?
杨不败
保密!防奸!防盗!专利保护!
用户53xxx85
加油!
cbhua
网上的好文。不像有些自媒体,自己不懂还瞎吹。
想说点啥
过了一年了,咋样了?加油!
用户88xxx67
这东西经过一年时间的技术调整和产量爬坡,到明年年中就能高良率的大批量生产芯片!阿斯麦时间不多了!吹走乌云遮盖太阳的东风来到了中国![并不简单]
12345 回复 08-16 14:47
留给阿斯麦的时间不多了,留给美国为首的欧美日等发达国家的时间不多了,我们即将开启一个新时代,到时候让他们看我们的尾灯都看不到[微笑]
用户10xxx99
我的理解是这不是造车,这是加快新款车型研发的速度。不知道对不对?
随风
如果是真的,那么中科院可以说是居功至伟了!
流浪猫
麒麟9020芯片型号在华为手机上可以看见了[鼓掌]说明国产芯片彻底打通了全产业链了[哈哈笑]
顺其自然
欧洲有的国家4G都还没有完全覆盖,我们可以等自己研发的手机芯片
算命先生
中国人是世界上最勤劳,勇敢,最聪明的人!
MA002
重点是保密工作做好……
用户10xxx24
终于看到中科院(国家队)在芯片业的贡献了!加油!
围城年醉犯保护發
又一个汉芯
诗和远方
革命性的
用户14xxx22
中国🇨🇳威武 加油加油加油
金木水火土
如果投入使用,可以实现芯片个人DIY
岭南说评
弯道超车,还要注意保护啊!
用户16xxx53
政府要保护好我们的科研人员!
哈哈^O^
[赞][赞][赞][赞][赞]
蓝博基尼
我早说过,科技对中国来说只是时间问题,不是智力问题,以中国人平均100+的智力水平,放眼全球,哪个孙子敢来造次[玫瑰][玫瑰][玫瑰]
宋老三
文豪王羲之,山东省临沂市人
用户13xxx89
中国这台电子刻模机从研发到量产共投入多少钱?
体育老师 回复 08-16 15:44
谈钱伤感情
随缘
希望是真的
用户12xxx13
懂电子束是啥不,懂光刻机照射的是什么不,光束是直接刻在硅晶圆上的吗?还电子束光刻机
胖猫
真正用于生产才来吹吧!以前吹的这么多技术突破,有哪一项真正突破用于了生产。就是简单的高端速控机床,中国真正掌握了吗?吹的天花乱坠的医疗用的核磁共振、CT在医院都是清一色的进口货。还把西门字三个字写的大大点,贴在医院?
奥沙利文
666.保护好核心技术,防止某办偷盗
战略评论
跟中国人拼科技,就是找死。
用户10xxx66
提醒业内人士:适用于电刻机的掩膜板工艺电路图与光刻机的掩膜板不一样,所有线路转角都必须是缓曲线,至少也是小半径钝角,严禁锐角和直角,这样可以大幅度提高成品率和电刻速度。
77
都是人脑子研究出来的,欧美人可以,我们中国人肯下功夫一定也可以。
叶小小
西方不亮东方亮!加油中国
去年今日
弯道超车。
还是原来的我
中国我看好你
rso2002
集成芯片说白了就是一个个硅基半导体开关集群,如果用一个中子轰击一个特殊粒子使其瞬间反转或成为“+”“-”“0”三种状态之一,那么是否会出现新形态的集成电路呢?
混沌初开振兴中华 回复 08-16 12:30
三进制华为已经申请专利了,应该是你说的这样状态,+ - 0
陈雨宁
电子束光刻机早就有了,电子束光刻机精度高,但是速度非常慢,需要像老电视那样用一束电子扫描,所以国外只用于制作掩膜板,如果想让电子束光刻机像光刻机一样工作,必须解决电子互相排斥的问题,或者把电子束改成中子束?要我说中子束光刻机比电子束靠谱
一颗闪星星 回复 08-17 09:09
不行的。中子束不带电,既不能像电子束那样用磁场透镜聚焦扫描成像,也不能像极紫外光那样用凹镜反射聚焦微缩。
陈雨宁 回复 一颗闪星星 08-17 10:57
其实我说的不对,中子束这个还是难度大,涉及到核工业了,还有放射泄露问题,其实x光应该靠谱
relax_how
理论没输过,实验没输过,量产实战就抓瞎!
人这一辈子
最后才是重点,行业普遍认为不能取缔光刻机。不能取代为什么叫电子速光刻机?感觉是自夸自大。
2025年的瑞蛇 回复 08-18 11:52
从无到有,从有到精
洪峰 回复 2025年的瑞蛇 08-18 13:29
除非能把现有电子枪数量提升两个数量级,数十甚至数百万束电子束同时干活才有可能赶上目前的光刻机生产效率。该技术在国外早就有了但一直没有实现工业化,就是因为这东西速度太慢了
用户19xxx49
但愿不是故事
Chinan
要给科研人员加油,但还没有实质成果出来之前还是专心搞吧,少发这种ppt
用户10xxx11
好技术,看紧口袋,不要被美西方偷了。
用户56xxx88
继续呲,呲呲NB,爽歪歪
用户15xxx77
吹吧,鬼才信
体育老师
你们先嗨着,别像当初吹大灰机完全自主,最关键部件还得被卡脖子就行。
用户11xxx41
厉害了我的国!🇨🇳
归零
这篇文章让我明白了电子束光刻机的意义:它不是提高生产效率,而是提高科研效率!而这一点难道不是非常重要吗?
乖乖兔
天才,我咋就没想到用电子束代替光线呢
洪峰 回复 08-17 22:29
实际上缺点也非常多,速度慢就是它无法规避的,这技术目前最先进的好像能1个小时才能啃出来一块芯片,用于芯片流片验证阶段是非常不错的,如果是大规模生产还得看传统工艺。
洪峰 回复 08-17 22:35
目前芯片生产还是有好几条路线的,目前的传统工艺就不错了,电子束只是其中之一,还有一种无掩膜版的传统光刻机路线,用类似LED灯阵的东西直接生成图像,然后用于光刻,那个速度更快。还有一种类似模具锻造的技术,先制造一块上面已经刻好的图案的模板(这玩意可以有一整块晶圆那么大),然后让它接近晶圆,定位,在缝隙里灌入光刻胶,定型,拆除模具,这样一次就搞定
一凡芽仔
虽然没有你所说的那么好,但相信会越来越好
静致
向科技人员致敬[点赞][点赞][点赞]
A
有些玩意一看到华为厉害,也看到中国厉害,马上急眼
倚剑昆仑
早都有的东西。局限性太强。
用户16xxx90
这个是好的开始,再努努力,加油![点赞]
用户57xxx66
相当于冲床和现在的激光割,以前要先做模具,要改一下就得换模具,现在激光割,只要在电脑里改动一下就可以了。
马小天 回复 08-17 07:58
你这个比喻贴切、形象。
游侠加油站
科技大暴发
泉水叮咚
降低研发成本,就是有更多企业愿意从事研发,有更多资金投入研发,研发人员也会不断扩充。
自由自在
早就有了
用户18xxx69
某音有个播主说的好,中国的每一个科技突破,就是一次毛爷爷讲的中国人民站起来了。
大哥大
牛逼!威武!
用户38xxx98
666[点赞]
无界妖瞳
所有以为可以卡中国脖子的,最后都混成了给自己掘墓的,盾构机,圆珠笔钢珠,龙门吊,一桩桩一件件都说明不要逼中国。
高山流水
就像数码相机问世一样,感光胶卷和相机都成了狗屎
bxh
0.6纳米,你怎么不上天
图雨
别像当年的龙芯一样就好
洪峰 回复 08-17 22:20
龙芯现在过的很好啊
啊海很漂亮
造出来根本不用宣传,前两年又谁谁突破了,有谁谁弯道超车了,然而依然落后被封锁,你们不吹牛逼会死吗
hellonmbdkittyy
牛逼👍👍👍
用户10xxx72
干得漂亮!
用户11xxx94
吹牛皮
158
祝贺国家欣欣向荣!向不屈不饶的国家栋梁致敬!
高峰
先有我为后有天,手拿我为揍神仙,只要不是我为研制的,都不是国产,都是不爱国[滑稽笑][滑稽笑][滑稽笑]
左罗Z
高度保密,让我们以后用这拿捏欧洲白皮
山家佬
能复制人家的东西也是可以的,不过不要乱吹。
陶大
这哪是弯道超车?直接原地起飞了!中国人脑洞大开无所不能!特别是在技术封锁、制裁的环境下更是如此。美西方的噩梦开始了,芯片白菜价开始了,拿着H20当饭吃开始了!没办法啊,两弹一星的故事他们忘记了!
闲云野鹤
多层的如何刻?
豆芽2006125 回复 08-16 11:07
堆叠
洪峰 回复 08-17 22:20
即可以做掩膜版也可以直接干芯片,但速度很慢,用于芯片验证阶段还是很不错的
一抹残魂
自媒体又开始吹牛博流量了
大森林
0.6nm?现在意淫这么整吗?不要脸了吗