国产半导体设备头部厂商:
- 北方华创:刻蚀、薄膜沉积
- 中微公司:刻蚀(5nm量产)、薄膜沉积
- 盛美上海:清洗、电镀(铜互连设备破垄断)
- 拓荆科技:薄膜沉积(国内唯一PECVD/ALD量产商)
- 华海清科:抛光(CMP)、划切(12英寸设备独供)
- 芯源微:涂胶显影(国内市占率第一)
- 中科飞测:量测、检测(国内唯一2Xnm缺陷检测设备)
- 封测领域:新益昌、华峰测控、长川科技
- 至纯科技:SPM、清洗
- 新凯来:全产业链布局
- 盛美半导体:清洗、电镀
国产半导体设备头部厂商:
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