【含氟电子特气横向比较】1、技术壁垒与市场价值分层第一梯队:六氟丁二烯、六氟化钨第二梯队:八氟环丁烷、八氟丙烷第三梯队:六氟乙烷、三氟化氮第四梯队:四氟化碳、六氟化硫2. 国产替代进度梯队已基本实现自给:四氟化碳、六氟化硫、三氟化氮加速替代中:八氟环丁烷、六氟乙烷初步突破、替代空间大:八氟丙烷、六氟化钨单点突破、独家供给:六氟丁二烯3. 未来需求增长弹性排序六氟丁二烯(高端刻蚀) > 六氟化钨(沉积) > 八氟环丁烷(高端刻蚀) > 八氟丙烷(中端刻蚀) > 三氟化氮(清洗) > 六氟乙烷(基础刻蚀) > 四氟化碳 (基础刻蚀) > 六氟化硫(清洗)4.产品价格排序六氟丁二烯 > 六氟化钨> 八氟环丁烷> 八氟丙烷 >六氟乙烷> 三氟化氮 > 四氟化碳 > 六氟化硫主要上市公司:【中船特气】【昊华科技】【中巨芯】【金宏气体】【华特气体】
