台积电暂不买阿斯麦最新光刻机，主要还是因为贵。阿斯麦新一代高数值孔径极紫外光刻机（High - NA EUV）价格离谱，台积电副共同营运长张晓强都直说它“非常、非常昂贵”。
台积电在当地时间22日的北美技术论坛上表明，研发部门用现有EUV技术制定技术路线图表现出色，正探索不依赖High - NA EUV提升芯片性能的方法。而且，台积电还发布了A13和N2U两项芯片制造技术改进，打算从阿斯麦现有的EUV机器里挖掘更多潜力。这一决定让阿斯麦股价收盘跌约1%，毕竟台积电可是行业领军者，其选择影响巨大。