探针机长川科技、华峰测控 后道测试设备国产化领先，切入高端市场测试机华峰测控、长川科技、精智达、金海通 AI芯片测试需求激增，国产份额持续提升刻蚀机中微公司、北方华创 刻蚀设备龙头，国产化率快速提升清洗机盛美上海 清洗设备龙头，已进入国际供应链CVD设备拓荆科技、微导纳米 薄膜沉积设备核心供应商，受益先进制程扩产光刻机国内仍在突破（光学部件关注茂莱光学）技术壁垒极高，国产化任重道远光刻胶彤程新材、南大光电、晶瑞电材 KrF/ArF光刻胶国产化主力，高端制程验证中涨价材料/零部件