国产光刻胶技术太牛啦！近期实现重要突破，成功研制出可用于28纳米及以上制程的

英炜善待 2026-01-07 22:13:44

国产光刻胶技术太牛啦！近期实现重要突破，成功研制出可用于28纳米及以上制程的 ArF光刻胶，并已在部分晶圆厂验证通过。这一进展打破了国外长期垄断，为芯片制造关键材料自主化奠定基础。南大光电、上海新阳等企业持续攻坚，在分辨率、敏感度、线宽粗糙度等核心指标上追赶国际先进水平。产业链上下游协同创新，正加速向更高端制程迈进。突破“卡脖子”环节，彰显中国半导体材料领域的创新韧性与决心，为保障产业链安全提供有力支撑。光刻胶中企光刻机极紫外光刻技术

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